激光干涉儀采用光波作為載體，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、分辨率高的特點(diǎn)。其光波波長(zhǎng)可直接定義米級(jí)，并可追溯到標(biāo)準(zhǔn)。因此，激光干涉儀廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制和校準(zhǔn)、科研開發(fā)、高端設(shè)備制造等。

激光干涉儀測(cè)量原理。

激光干涉儀一次發(fā)射單頻光束，分解成兩個(gè)光束，然后反射回分光鏡，然后匯回激光干涉儀。當(dāng)光差不變時(shí)，激光干涉儀可以在相長(zhǎng)干涉和相消性干涉的極點(diǎn)之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。當(dāng)光差發(fā)生變化時(shí)，計(jì)算這些變化，用于測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差值。

在陽極和陰極之間的高壓連接下，產(chǎn)生混合氣體產(chǎn)生激光束，通過放大激光強(qiáng)度將某些光傳輸?shù)捷敵黾す?。在這些參數(shù)中，激光管的長(zhǎng)度由加熱器控制，使激光定頻率的精度保持在0.05ppm，此時(shí)輸出穩(wěn)定，激光可以進(jìn)行干涉測(cè)量。目前，大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀使用氦霓虹激光管，其輸出波長(zhǎng)為633納米。

激光干涉儀的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量和壽命等參數(shù)都與激光器的Z終性能有關(guān)。激光頻率是激光干涉Z的基本參數(shù)，其頻率(波長(zhǎng))的精度和穩(wěn)定性是激光干涉儀測(cè)量精度的保證。

激光干涉儀的發(fā)展歷史。

自1960年以來，梅曼成功研制了第1臺(tái)紅寶石激光器，開啟了光學(xué)技術(shù)飛速發(fā)展的新時(shí)代。從此，激光干涉測(cè)量廣泛應(yīng)用于長(zhǎng)度、角度、微觀形態(tài)、轉(zhuǎn)速、光譜等領(lǐng)域，并結(jié)合微電子和計(jì)算機(jī)技術(shù)形成現(xiàn)代干涉儀。

Binning和Rohrer于1988年成功研究掃描隧道顯微鏡，并于1986年發(fā)明原子力顯微鏡。從此，干涉儀開始進(jìn)入納米、亞納米分辨率和精密測(cè)量領(lǐng)域。

由于激光具有良好的時(shí)間相關(guān)性，從出現(xiàn)到現(xiàn)在，激光干涉技術(shù)有多種類型：?jiǎn)晤l激光干涉、雙頻激光干涉、半導(dǎo)體激光干涉、法布里珀羅(F-P)干涉、x光干涉等。

激光干涉儀是激光Z測(cè)量技術(shù)的成功應(yīng)用。它具有非接觸、無損檢測(cè)等特點(diǎn)，利用光干涉技術(shù)實(shí)現(xiàn)測(cè)量，已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。