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高精度位置閉環(huán)反饋系統(tǒng)
國(guó)產(chǎn)替代
光纖引出 安裝方便 適合狹小空間
可按需選擇單通道或雙通道測(cè)量版本
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| 激光光源 | HeNe激光器 |
| 穩(wěn)頻方式 | 雙縱模熱穩(wěn)頻 |
| 激光波長(zhǎng) | 632.8nm(兩路激光波長(zhǎng)分別提供) |
| 激光功率 | 0.1~0.3mW/軸 |
| 激光穩(wěn)頻精度 | <±1ppb 1minute <±2ppb 1hour <±20ppb 8hours |
| 輸出信號(hào)格式 | RS422差分方波(AQB) 1Vpp sin/cos模擬信號(hào) |
輸出信號(hào)周期 | 158nm(平面反射鏡) 316nm (角錐反射鏡) |
最高測(cè)量速度 | 1m/s(平面反射鏡) 2m/s(角錐反射鏡) |
測(cè)量范圍 | 0-1m |
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